洁净防爆桥式WM SPORTS

洁净防爆桥式WM SPORTS

该WM SPORTS是满足新生产工艺的具备自动、洁净、防爆功能的WM SPORTS。使用环境为半导体材料车间，无尘化设计，空气清洁度等级为4级(国标7级)（即每立方米内0.1μm大小的颗粒物不大于10000个）。同时该车间内存在易燃易爆气体，WM SPORTS防爆等级dIICT4。该WM SPORTS采用中控室计算机自动控制，可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、清洗平台、中转平台、拆棒工具等位置之间根据设定工作路线自动运行。